Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Name: Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Brand: John Wiley & Sons Inc
SKU: 9780470016084
Price: 196.62 EUR
Availability: InStock

Autor: Hiroyuki Fujiwara

Jazyk:

Väzba: Pevná

Vydavateľ: John Wiley & Sons Inc

Dostupnosť: Skladom u dodávateľa

Odosielame za 10-18 dní

196.62 €

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond...

Informácie o knihe

Autor

Hiroyuki Fujiwara

Jazyk

Angličtina

Väzba

Kniha - Pevná

Vydalo

2007

Stránok

392

EAN

9780470016084

ISBN

0470016086

Enbook ID

04878436

Vydavateľ

John Wiley & Sons Inc

Hmotnosť

762

Rozmery

157 x 235 x 26

Kompletný popis

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Informácie o knihe

Kompletný popis

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež