Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 63.65 EUR
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Autor: Ulrich Hilleringmann

Jazyk:

Väzba: Brožovaná

Vydavateľ: Springer, Berlin

Dostupnosť: Skladom u dodávateľa

Odosielame za 8-11 dní

63.65 €

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Informácie o knihe

Autor

Ulrich Hilleringmann

Jazyk

Angličtina

Väzba

Kniha - Brožovaná

Vydalo

2023

Stránok

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Vydavateľ

Springer, Berlin

Hmotnosť

524

Rozmery

168 x 240

Kompletný popis

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Informácie o knihe

Kompletný popis

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež