Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

Name: Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization
Brand: Taylor & Francis Inc
SKU: 9781420059113
Price: 269.54 EUR
Availability: InStock

Autor: Jea-Gun Park

Jazyk:

Väzba: Pevná

Vydavateľ: Taylor & Francis Inc

Dostupnosť: 50 % šanca

Prehľadáme celý svet

269.54 €

Explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mech...

Informácie o knihe

Autor

Jea-Gun Park

Jazyk

Angličtina

Väzba

Kniha - Pevná

Vydalo

2009

Stránok

224

EAN

9781420059113

ISBN

9781420059113

Enbook ID

06708211

Vydavateľ

Taylor & Francis Inc

Hmotnosť

570

Rozmery

156 x 234 x 20

Kompletný popis

Explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarization (CMP) process, including dielectric CMP, shallow trend isolation CMP, metal CMP, poly isolation CMP and noble metal CMP. This work also presents design techniques using polymeric additives to improve CMP performance.

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najčastejšie vyhľadávané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

Informácie o knihe

Kompletný popis

Mohlo by vás zaujímať

Zákazníci, ktorí si kúpili túto knihu, kúpili tiež