Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide

Mit Hilfe der Ellipsometrie mi t man Dicken und optische Eigenschaften dnner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einfhrung fr ein interdisziplinres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)